UV-LED光源を超精密なエリア露光ツールに変えましょう
マスクアライナーやステッパーは、複雑な集積回路や化合物半導体、その他のマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するために、微細なパターンを高精度に位置合わせしながら層ごとに形成していきます。一方、多くのUV硬化アプリケーションでも、半導体製造と同様に高い露光精度が求められます。しかし、微細構造を複数回にわたって高精度に位置合わせしながら積層するような、リソグラフィ特有の工程は必要ありません。例えば:
- スマートフォンやタブレットディスプレイ製造におけるエッジ露光
- 印刷業界向けに開発されたセーフティ機能
- バイオテクノロジー分野におけるマイクロ流体デバイスの製造
これらの用途では、いずれも平行光（コリメート光）が使用されています。一方で、当社のソリューションは、平行光をほとんど、あるいはまったく必要としないUV-LED照射装置にも組み込むことが可能です。代表的な用途として、一定の照射エリア全体にわたって高い照度均一性が求められるUV硬化プロセスが挙げられます。 ::
UVエリア硬化アプリケーションへのUV-LED技術の導入
当社のモジュール製品ラインナップでは、お客様の露光要件に合わせて最適なコンポーネントを自由に組み合わせることができます。
必要な光出力、波長、露光安定性に応じて、ALE/1またはALE/3 UV-LED光源をお選びください。Advanced Light Engine ONE（ALE/1）は、市場でもトップクラスの性能を誇るファイバーカップリングUV-LED光源です。一方、Advanced Light Engine THREEは、コンパクトでコストパフォーマンスに優れたモデルです。
光源からの光を効率よく伝送するために、標準品からカスタム仕様まで対応可能な高透過率LEDライトガイド をご用意しています。用途に応じて最適な構成を選択できるほか、光源や露光光学系も、システム設計に合わせて柔軟に配置できます。
さらに、LEDパフォーマンスオプティクスシリーズでは、お客様の仕様に合わせた照射ビームを形成するためのさまざまな光学オプションを提供しています。標準品に加えカスタム設計にも対応しており、当社のエンジニアリングチームがお客様の要件に最適なソリューションをご提案します。
広帯域UV照射による硬化のメリット
Primeliteの広帯域UV-LED光源は、UV硬化アプリケーションに最適な波長バランスを提供します。365、385、405、436 nmの各中心波長（CWL）から構成を選択でき、それぞれの波長の出力強度を個別に設定できます。また、すべての波長を同一の出力設定で照射することも、照射中に出力プロファイルを変更することも可能です。さらに、各波長に対して異なる出力プロファイルを個別に設定することもできます。この柔軟な波長・出力制御により、PrimeliteのUV-LED光源は幅広いUV硬化材料に対応し、高速かつ高いプロセス安定性で硬化を実現します。
出力スペクトルを自由にカスタマイズできるため、医療機器や製薬機器の製造工程において、水銀放電ランプからUV-LEDへの置き換えにも最適です。既存のスポット光源が持つ波長特性をUV-LEDで再現できるため、従来のスペクトルバランスを維持しながら、プロセス条件を大きく変更することなくUV-LEDへスムーズに移行できます。
PrimeliteのUV-LED光源がエリア硬化に選ばれる理由:
- 製造ラインへの組み込みが容易なUV-LEDスポット光源
- 優れた光出力安定性と高精度・高出力照射
- 用途に応じてカスタマイズ可能な波長構成（365 / 385 / 405 / 436 nm）
- 光学フィルター不要
- 水銀不使用、安全で将来性のあるLED光源
- UV-LED技術により、長寿命と低トータルコスト（TCO）を実現
Advanced Light Engine ONE
ALE/1 UV-LEDスポット光源は、カスタマイズ可能な照射スペクトルと優れた光出力安定性により、業界トップクラスの性能を実現します。
