UV-LEDによるダイレクトイメージング

ダイレクトイメージングやマスクレスアライナー、その他のマスクレス露光装置は、半導体、PCB、3Dプリンティングなど幅広い分野で採用が進んでいます。コンピュータ・トゥ・スクリーン（CtS）などのデジタル露光プロセスにおいても、マスクレス技術の活用が拡大しています。これらのマスクレス露光システムの多くは、テキサス・インスツルメンツのDLP®チップセットに採用されている**DMD（Digital Micromirror Device：デジタルマイクロミラーデバイス）**を利用しています。DMDは、高解像度のMEMSデバイスとして、従来のフォトマスクの代わりに露光パターンを形成し、UV感光性コーティング、フォトレジスト、樹脂などを高精度に露光します。DMDを用いたダイレクトイメージングでは、物理的なフォトマスクが不要となり、露光パターンをソフトウェアで瞬時に切り替えることができます。そのため、フォトリソグラフィや各種印刷プロセスにおいて、高い柔軟性と生産性を実現します。

量産用途でDMDプロジェクションシステムの性能を最大限に引き出すためには、高出力かつ高輝度なUV光源が不可欠です。従来は水銀ランプが主流でしたが、近年ではレーザーダイオードを採用するシステムも増えています。しかし、レーザーダイオードは405nmなどの単一波長であることが多く、水銀ランプのような広帯域スペクトルを必要とするプロセスでは、露光品質に影響を及ぼす場合があります。

近年のUV-LED技術の進歩により、水銀ランプのi線（365nm）、h線（405nm）、g線（436nm）に対応した高出力UV-LEDが実用化されました。これらを組み合わせたDMD照明システムは、高輝度な広帯域UV照射を実現するとともに、長寿命、低消費電力、低メンテナンスといったUV-LEDならではのメリットも備えています。PrimeliteのLumiDL™は、DMDプロジェクションシステム向けに開発された高出力UV-LED照明システムです。広帯域UVに対応した高輝度照射により、ダイレクトイメージングの高精度化と高スループット化を実現します。