PrimeliteのUV-LED光源でフォトマスク検査の柔軟性と精度を向上
フォトリソグラフィ工程で高い歩留まりを実現するには、高品質なフォトマスク（レチクル）が不可欠です。フォトマスクに欠陥や汚染があると、露光パターンの転写不良が発生し、その欠陥が製造するすべてのウェハや基板に繰り返し転写されてしまいます。フォトマスク検査システムは、マスクメーカーにおける品質保証だけでなく、半導体メーカー、フラットパネルディスプレイ（FPD）メーカー、プリント基板（PCB）メーカーにおいても、受入検査や定期検査を通じて製造歩留まりの維持に重要な役割を果たしています。
フォトリソグラフィは半導体、ディスプレイ、電子部品など幅広い分野で利用されており、用途に応じてさまざまな種類のフォトマスクが使用されています。Primeliteは、近紫外（NUV）、可視光（VIS）、近赤外（NIR）を利用した大型フォトマスクの欠陥・異物検査向け光源を提供しています。高出力かつ柔軟性に優れたPrimeliteのUV-LED光源は、従来の水銀ランプやキセノンランプに代わる光源として、安定した照明性能と長寿命を実現し、高精度なフォトマスク検査に貢献します。
Primelite LED光源をフォトマスク検査システムへ統合
スマートフォンやタブレットをはじめとする高解像度フラットパネルディスプレイ（FPD）の需要は年々高まっています。こうした需要に対応するためには、高品質なフォトマスクの製造と高精度な検査が不可欠です。Primeliteの高性能UV-LED光源を大型フォトマスク検査システムに組み込むことで、OEMメーカーは検査性能と生産性の向上を実現し、市場ニーズにより柔軟に対応できます。PrimeliteのUV-LED光源は、従来の放電ランプに代わる高性能な光源として、多くのメリットを提供します。ここでは、Primeliteのソリューションが選ばれる3つの理由をご紹介します。
- Primeliteのファイバー結合型UV-LED光源ALE/1およびALE/3は、優れた設置自由度を実現します。高透過率のLEDライトガイドを使用することで、光源本体を照射位置から離れた場所にも設置できます。ライトガイドは最長20 mまで対応しており、装置レイアウトに合わせて柔軟にシステムを構築できます。
- 最先端のOLEDフラットパネルディスプレイ（FPD）では、高解像度化に伴い、より多くのTFTトランジスタが集積されています。その結果、フォトマスクには、より微細なパターンを高精度に形成することが求められます。このような高精細フォトマスクを適切に検査するためには、微小な欠陥を高感度で検出できる検査システムが不可欠です。照明光の波長を可視光から近紫外（NUV）へ変更することで、欠陥検出性能をさらに向上させることができます。PrimeliteのALEシリーズは、350～450 nmの波長域に対応した高出力UV-LED光源であり、高精度なフォトマスク検査に最適な照明を提供します
- PrimeliteのUV-LED光源は、短期・長期にわたり優れた光出力安定性を維持し、フォトマスク検査結果の精度と再現性の向上に貢献します。
高精度な単一波長・多波長照射
一般的なLED光源は、約385 ± 15 nmの狭帯域光による検査に対応しています。一方、Primeliteの高性能UV-LED光源は、用途に応じて出力スペクトルをカスタマイズできる広帯域照明を提供します。また、従来の放電ランプで使用されてきた**i線（365 nm）、h線（405 nm）、g線（436 nm）**に対応する波長に加え、青色や緑色などの可視光成分を組み合わせたスペクトル設計も可能です。これにより、検査対象や用途に応じて最適な照明条件を実現できます。
当社のAdvanced Light Engine ONE （ALE/1）は、最大5種類の高出力LEDを、それぞれ個別にフィードバック制御しながら単一の光路へ結合できます。また、ALE/3をベースとした、コストパフォーマンスに優れた単一波長および2波長構成もご用意しています。
出力性能の比較
| 出力 [mW]1 | 広帯域 (350 〜 450 nm) | i線 (355 〜 385 nm) |
|---|---|---|
| ALE/1.3 (CWL 365 / 405 / 436 nm)2 | 30,000 | 10,000 |
| ALE/3.2 (CWL 365 / 405 nm)2 | 13,000 | 6,500 |
| 200 W水銀ランプ(典型的な値) | 7,500 | 3,000 |
1出力はライトガイドの端で測定(コア直径6.5mm、長さ1.5m);±10%の偏差が起こり得ます
2エミッターの中心波長:367.5±2.5 nm、402.5±2.5 nm、435.0±2.5 nm
ALE/1・ALE/3がフォトマスク検査に選ばれる3つの理由
- 高い設置自由度を実現するファイバー結合型LED光源
- 優れた光出力安定性と高精度な照明
- UVから可視光（VIS）まで対応するカスタマイズ可能な広帯域スペクトル
- UV-LED技術による長寿命化とTCO（総保有コスト）の削減
- 1msの高速オン／オフ制御
