UV-LED露光システムと水銀ランプ:リソグラフィとUV硬化の技術的比較
リソグラフィおよびUV硬化用途におけるUV-LED露光システムと水銀放電ランプを技術的な観点から比較します。スペクトル安定性、光源寿命、エネルギー効率、プロセス制御など、半導体製造において重要となる性能を中心に、それぞれの特長と違いを詳しく解説します。
Frederic 2025-05-29
技術情報
広帯域NUV放射の定量化におけるサーモパイルおよびSiフォトダイオードセンサーの長所と短所
広帯域近紫外線（NUV）光源は、リソグラフィやUV硬化プロセスにおいて中核となる光源です。その放射特性を正確に測定・評価することは、少量生産から大量生産まで安定したプロセスを維持し、高い再現性を確保するために不可欠です。本記事では、その重要性と測定時のポイントについて解説します。
Frederic 2023-09-09
なぜ今、リソグラフィにおける水銀ランプに別れを告げるべきなのか
リソグラフィ技術は進化を続けていますが、その一方で、今なお多くの装置では水銀アークランプが使用されています。かつては高い信頼性を誇る光源として広く採用されていましたが、現在ではUV-LED技術の進歩により、より高性能で効率的な代替手段が登場しています。本記事では、水銀ランプとUV-LED露光システムを比較し、それぞれの特長や違いを解説します。
Frederic 2023-07-17
寿命の延長:UV-LEDにおける動作温度制御の重要な役割
UV-LEDの性能、効率、寿命を最大限に引き出すためには、動作温度を適切に管理することが不可欠です。本記事では、温度管理が光出力や安定性、信頼性に与える影響を解説するとともに、高性能なUV-LEDシステムを実現するためのポイントをご紹介します。
Frederic 2023-06-11
適切なUV硬化波長の判定方法
UV硬化は、紫外線（UV）を照射して接着剤、コーティング材、インクなどを短時間で硬化させるプロセスです。高品質な硬化を実現するためには、用途に適したUV波長の選定が重要となります。本記事では、UVスペクトルが硬化性能に与える影響と、最適な光源の選び方について解説します。
Frederic 2023-01-12
ライトガイドの選び方
Primeliteのライトエンジンは、高出力・高精度アプリケーション向けに設計された高性能スポットUV-LED光源です。その性能を最大限に引き出すためには、組み合わせて使用する光学系やライトガイドにも、高い光学性能と適切な仕様が求められます。本記事では、最適な光学部品を選定するためのポイントについて解説します。
Frederic 2023-01-08
Etendueマッチングとパフォーマンスリミット
現在のUVリソグラフィ装置では、水銀放電ランプ、UV-LED、レーザーなど、さまざまな光源が採用されています。それぞれの光源には特長や適した用途があり、要求される露光性能によって最適な選択肢が異なります。本記事では、各光源の特徴を比較するとともに、エキシマレーザーをはじめとする最新の露光技術について解説します。
Frederic 2022-12-08