Primelite LEDパフォーマンスオプティクス
多くの光学システムでは、光源から出射される光を用途に応じて最適に制御することが重要です。光学効率の最大化、特定の作動距離における照度の最適化、照射均一性の向上、コリメーション角の調整など、さまざまな光学要件に対応する必要があります。Primeliteでは、UV-LED露光システムの光を用途に合わせて最適化するための各種LEDパフォーマンスオプティクスをご用意しています。標準品のホモジナイザーおよびコンデンサー光学系 は、多くの光学システムで求められる課題を手軽かつ低コストで解決できるソリューションです。
超高透過率LEDライトガイドは、標準のホモジナイザーやコンデンサー光学系とともに、Primeliteのパフォーマンスオプティクスを構成する主要製品です。 光源を露光位置から離れた場所に設置し、光を柔軟に伝送したい場合に最適なソリューションです。高い光伝送効率と優れた信頼性を備え、装置設計の自由度を大きく向上させます。 また、設置スペースに制約のある装置や、さまざまな方向へ光を導く必要があるアプリケーションにおいても、LEDライトガイドは柔軟な光学設計を可能にします。
Primelite Performance Opticsのすべての光学コンポーネントは、Advanced Light Engine ONE、Advanced Light Engine ONE C、またはAdvanced Light Engine THREEに対応しています。 システム性能を最大限に引き出すため、ファイバー結合型UV-LED光源と当社のLEDライトガイドを組み合わせて使用することを推奨しています。標準のホモジナイザーとコンデンサーは、当社のLEDライトガイドと互換性があり、用途に応じた柔軟な光学システムを構築できます。 また、ライトガイドを使用せず、ALE/1CリソグラフィUV-LED露光システムへ直接取り付けて使用することも可能です。
