LEDパフォーマンスオプティクス

綿密に設計されたUV-LED露光向け光学系

Primelite UV-LEDパフォーマンスオプティクス ― 卓越した露光性能を実現

高度なUV露光プロセスで優れた結果を得るためには、高出力な光源と用途に最適化された精密な光学系が不可欠です。アプリケーションごとに求められる性能は大きく異なり、それぞれの用途に応じた最適な光学設計が求められます。 例えば、自動車や医療機器の製造における高速UV硬化と、半導体製造におけるウェハーの高精度UV露光では、要求される光学性能や照射条件は大きく異なります。

PrimeliteのUV-LEDパフォーマンスオプティクスは、こうした多様な製造環境に対応し、用途に応じた最適な光学性能を提供します。優れたコストパフォーマンスを実現しながら、必要なコリメーション特性や照射均一性を高い精度で実現します。 また、Primeliteは幅広い露光アプリケーションに対応するUV-LED光源に加え、お客様の用途や装置仕様に合わせたカスタムUV光学系の設計・開発にも対応しています。

UV-LEDパフォーマンスオプティクスの特徴:

一般的に、LEDは広い放射角(高NA)を持つ光源です。そのため、レンズシステムを組み合わせることで、光の発散を抑えたり、高照度で集光したりすることができます。 また、照射面の均一性を向上させたい場合にも、PrimeliteのLEDパフォーマンスオプティクスが最適です。用途に応じて、六角形または正方形の照射パターンを選択でき、さまざまな露光アプリケーションに対応します。

PrimeliteのLEDパフォーマンスオプティクスは、Primelite ALEシリーズに対応した標準光学ユニットです。標準品に加え、大型基板や特殊なアプリケーション向けに、カスタム光学系の設計・製作にも対応しています。

PrimeliteのLEDパフォーマンスオプティクスはUVグレードの素材のみを使用しています。

Primelite LEDパフォーマンスオプティクス
大型基板向けPrimeliteLEDパフォーマンスオプティクス

UV-LEDパフォーマンスオプティクスの特徴:

一般的に、LEDは広い放射角(高NA)を持つ光源です。そのため、レンズシステムを組み合わせることで、光の発散を抑えたり、高照度で集光したりすることができます。 また、照射面の均一性を向上させたい場合にも、PrimeliteのLEDパフォーマンスオプティクスが最適です。用途に応じて、六角形または正方形の照射パターンを選択でき、さまざまな露光アプリケーションに対応します。

PrimeliteのLEDパフォーマンスオプティクスは、Primelite ALEシリーズに対応した標準光学ユニットです。標準品に加え、大型基板や特殊なアプリケーション向けに、カスタム光学系の設計・製作にも対応しています。

PrimeliteのLEDパフォーマンスオプティクスはUVグレードの素材のみを使用しています。

標準パフォーマンスオプティクス

カスタムデザイン能力

標準LEDパフォーマンスオプティクス

Primelite LEDパフォーマンスオプティクス
Primelite LEDパフォーマンスオプティクス

1 Primelite ALEシリーズと組み合わせた際の放射の開口部

より高品質な露光を実現する最適な選択。