Primeliteのリソグラフィ用途向けUV-LED光源
近紫外線（NUV）領域（i線：CWL 365 nm、h線：CWL 405 nm、g線：CWL 436 nm）に対応した、高性能UV-LEDリソグラフィ露光システムおよび高精度UV硬化ソリューションをご紹介します。PrimeliteのUV-LED光源は、最大12インチ（300 mm）ウェハー対応のマスクアライナーやウェハーステッパーをはじめ、大面積基板向けエリア露光装置、ナノインプリントリソグラフィ（NIL）装置、さらにDMD/DLP®を用いた高出力マスクレスダイレクトイメージャーなど、幅広いリソグラフィ装置で優れた性能を発揮します。
PrimeliteのUV-LED光源は、試作・研究開発から量産まで、幅広い製造環境で高い信頼性を発揮します。新規露光システムへの組み込みはもちろん、従来の水銀ランプ光源からの置き換えにも最適です。長年にわたり産業用途で採用されてきた実績あるUV-LED技術により、安定した高品質のUV光を提供し、お客様のプロセスを支えます。
Advanced Light Engine
TWO
i線単波長またはブロードバンド構成のALE/2 UV-LED光源により、8インチおよび12インチの円形・角形基板に対して、100 mW/cm²以上の高照度露光を実現します。
UV-LED
DLP® / DMD イルミネーター
量産用途のDMD/DLP®投影システムには、高出力かつ高い安定性を備えたUV光源が求められます。Primeliteは、高性能なUV-LED DMD照明システムを提供し、高精度かつ高スループットな露光プロセスを支えます。