UV-LED DLP® / DMD 照明装置の業界ベンチマーク
産業用マスクレスリソグラフィ、コンピュータ・トゥ・スクリーン（CtS）、3Dプリンティング向けダイレクトイメージング装置のスループット向上をお考えなら、次世代のUV-LED光源が最適なソリューションです。 高性能なDLP® / DMD対応 LumiDL™ UV-LED照明システムは、従来の低速プロセスの課題を解決し、大量生産におけるDLP® / DMD投影方式の柔軟性を最大限に引き出すとともに、生産性の向上とコスト削減に貢献します。
LumiDL™ UV-LED DMD イルミネーターの特徴:
- TI社製DLP®7000, DLP®9000, DLP®9500チップセット向けに開発
- 最大35WのUV出力
- カスタム単一波長およびブロードバンド構成
- 現場交換可能なLEDユニット
- UV-LED技術により、長寿命と低トータルコスト（TCO）を実現
- 高性能マルチチャネルLEDドライバー
- 水銀不使用、安全で将来性のある光源
LumiDL™ UV-LED DMD イルミネーター概要
LumiDL™ UV-LED DMD照明システムは、単波長仕様および広帯域仕様の両方をご用意しています。高出力UV-LED技術の採用により、従来の放電ランプやレーザーダイオードを上回る照射性能を実現するとともに、長寿命でメンテナンス負荷を大幅に低減し、優れたコストパフォーマンスを提供します。また、モジュール設計を採用しており、現場で交換可能な高出力UV-LEDユニット（FRU：Field Replaceable Unit）を搭載。光学系の分解やメーカーでの保守を必要とせず、お客様自身で短時間かつ容易に交換できるため、装置のダウンタイムを最小限に抑えることができます。
LumiDL™ UV-LED DMD照明システムには、高性能な18チャンネルLEDドライバーを搭載しています。各チャンネルはUV-LEDユニット（FRU）の各LEDエミッターを個別に制御できるため、照射強度や露光条件を高精度に制御することが可能です。システムの設定および運用は、Ethernet（Telnet、Modbus）またはシリアルUSBインターフェースを介して行えます。また、外部トリガー入力に対応しており、あらかじめ設定した照射条件を瞬時に呼び出して実行できます。
LumiDL™ UV-LED DMD照明システムの出力特性
利用可能な近紫外線波長
DMD領域の均一性
出力
| 出力[mW]1 | CWL 365 nm | CWL 385 nm | CWL 395 nm | CWL 405 nm | CWL 436 nm |
|---|---|---|---|---|---|
| LumiDL™ DMD イルミネーター DLP®7000(12 LED FRU)用 | 19,000 | 24,000 | 24,000 | 24,000 | 19,000 |
| LumiDL™ DMD イルミネーター DLP®9500(18 LED FRU)用 | 28,000 | 35,000 | 35,000 | 35,000 | 28,000 |
1単一波長構成
システムの特性と仕様
| 標準搭載LED | CWL 365 nm、385 nm、395 nm、405 nm、436 nmの中から最大18個のLEDチップを組み合わせ可能 | ||
| 出力仕様 | 開口数 | NA0.21（DMD傾斜角 ±12°に対応） | |
| 照明均一性 | > 90% | ||
| DMDオーバーフィル | > 10% | ||
| 出力コントロール |
| ||
| インターフェース |
| ||
| 熱管理 | 熱交換器を使用した循環液冷方式（熱交換器は付属しません） | ||
| 寸法(WHD) | DMDイルミネーター | 27.5 × 8 × 8.5 cm | 10.9 × 3.2 × 3.4" |
| マルチチャネルドライバー | 23 × 29 × 4.5 cm | 9.1 × 11.5 × 1.8" | |
| 重量 | DMDイルミネーター | 1.5 kg | 3.5 lbs |
| マルチチャネルドライバー | 2 kg | 4.5 lbs | |
| 電源 | 24 VDC / 300 W | ||