1 kW水銀ランプの代替となるUV-LED露光システム「ALE/1C」
PrimeliteのUV-LED露光システム Advanced Light Engine ONE C（ALE/1C） は、産業用UV露光装置向けに開発された高出力スポットUV-LED光源です。6インチ（150 mm）および8インチ（200 mm）ウェハー対応の半自動・自動マスクアライナーや、広帯域ウェハーステッパー（1×ステッパー／ミニステッパー）向けに最適化されています。UV-LED技術の採用により、従来の高圧水銀ランプを上回る優れた光出力安定性と柔軟な波長構成を実現。さらに、低消費電力・低発熱設計に加え、長寿命でメンテナンス性にも優れており、ランニングコスト（TCO）の削減にも貢献します。
Primeliteは、高い拡張性と柔軟性を備えたプラットフォーム製品の開発を基本コンセプトとしています。ALE/1Cもその思想に基づいて設計されており、最大3波長のUV-LEDを内蔵し、それぞれを個別に出力できるほか、合波して出力することも可能です。標準構成では、i線（CWL：365 nm）、h線（CWL：405 nm）、g線（CWL：436 nm）の3波長を搭載。従来の1 kW高圧水銀ランプを上回る高い光出力を実現するとともに、用途に応じた柔軟な波長選択を可能にします。
ALE/1C UV-LED露光システムの特徴:
- 最大限の露光効率と性能を実現する組み込みソリューション
- 最大50ワットのブロードバンド露光(350〜450 nm)
- 光出力の安定性を実現するためのクローズドループ光制御出力
- 水銀不使用、安全で将来性のあるLED光源
- UV-LED技術により、長寿命と低トータルコスト（TCO）を実現
- ドイツ製ならではの高い品質と信頼性
ALE/1C UV-LED露光システム 概要
ALE/1Cは、光源部と制御部を分離した分散設計を採用しており、装置への組み込みを容易にします。コンパクトな露光サブシステム（ESS：Exposure Subsystem）は、設置スペースに制約のある装置でも光路へ直接組み込むことが可能です。一方、電源供給や冷却を管理するコントロールサブシステム（CSS：Control Subsystem）は、スペースに余裕のある場所へ設置できるため、装置設計の自由度を高めます。さらに、ALE/1Cの光出力は、各種ライトパイプやライトガイド、追加の光学部品と組み合わせることができ、用途に応じた柔軟な光学システムの構築を可能にします。
制御サブシステム(CSS)
CSS（Control Subsystem）は、コンパクトタイプと19インチラックマウントタイプ（4U）の2種類を用意しています。両モデルとも、共通の制御インターフェース、冷却システム接続部、システム状態表示機能を備えており、用途や装置構成に応じて選択できます。ラックマウントタイプには、前面パネルに露光テストスイッチを搭載しており、外部制御信号を使用せずに光出力を起動できるため、装置の立ち上げやメンテナンス時の動作確認を容易に行えます。
露光サブシステム(ESS)
ALE/1Cの露光サブシステム（ESS）は、ライトパイプ結合方式を採用した高出力スポットUV-LED光源です。動作には、独立したコントロールサブシステム（CSS）との接続が必要です。 専用設計の光学レンズを搭載したESSには、UV-LEDを制御・駆動するために必要なハードウェアおよびソフトウェアを内蔵しています。コンパクトな設計により、既存の露光装置への置き換えはもちろん、新規装置への組み込みにも容易に対応できます。
すべてのLEDモジュールは現場で交換可能です。LEDの交換は特別な工具なしで数分で完了します。
出力方法の選択
均一化ライトパイプ、LEDライトガイド、コンデンサー光学系などをALE/1C露光サブシステムと組み合わせて使用可能です。これらの光学アクセサリーを組み合わせることで、高出力UV光の長距離伝送や照射均一性の向上、さらには出力光のコリメーション角の最適化が可能となり、用途に応じた柔軟な光学システムを構築できます。
ALE/1C UV-LED露光システム出力
標準仕様のALE/1Cには、水銀ランプのi線（365 nm）、h線（405 nm）、g線（436 nm）に対応するピーク波長を持つUV-LEDを搭載しています。各UV-LEDは個別に制御できるため、フィルターを交換することなく照射波長を切り替えられるほか、複数波長を組み合わせた出力構成にも柔軟に対応できます。
波長
角度分布(Light Pipe)
出力
| 出力[mW]1 | 光学系 | 広帯域(350〜450 nm) | i線(365 nm) |
|---|---|---|---|
| ALE/1C (パフォーマンスモード) | Ø8.0 mm HEX AR | 50,000 | 21,000 |
| ALE/1C (スタンダードモード) | Ø8.0 mm HEX AR | 40,000 | 17,000 |
1±10%の誤差が生じる可能性があります
ALE/1Cは、標準モードで最大40W、パフォーマンスモードで最大50Wの出力を実現します。パフォーマンスモードを有効にするには、冷却回路に追加のチラーを設置し、冷却液の温度を20℃以下に保つ必要があります。
システムの特性と仕様
| 標準搭載LED | 365 nm, 405 nm, 436 nm | ||
| 開口数 | 選択可能: NA 0.6 (2α ~70°、ライトパイプ) 、NA 0.15 (2α ~17°、コンデンサー光学系) | ||
| 出力コントロール |
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| インターフェース |
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| 熱管理 |
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| 寸法(WHD) | ESS: | 20 × 13 × 20.5 cm | 7.9 × 5.1 × 8.1" |
| CSS: | 20 × 15 × 45 cm | 7.9 × 5.9 × 17.7" | |
| CSS (Rack): | 44 × 18 × 37 cm | 17.3 × 7.1 × 14.6" | |
| 重量 | ESS: | 5 kg | 11 lbs |
| CSS: | 9 kg | 20 lbs | |
| CSS (Rack): | 10 kg | 22 lbs | |
| 電源 | 110〜240 VAC / 50〜60 Hz / 1,000 W | ||