2～5 kWランプハウスの代替となるUV-LED露光システム「ALE/2」
PrimeliteのUV-LED露光システム Advanced Light Engine TWO（ALE/2） は、均一でコリメートされた高品質なUV照射を必要とする大型基板向けエリア露光装置用に開発された高出力スポットUV-LED光源です。主に8インチ（200 mm）および12インチ（300 mm）ウェハー対応のマスクアライナー向けに設計されており、最大400 × 400 mmの露光エリアに対応する高出力を実現します。さらに、ご要望に応じて、より大面積・高出力仕様へのカスタマイズにも対応可能です。UV-LED技術の採用により、従来の高圧水銀ランプを上回る優れた光出力安定性と柔軟な波長構成を実現。さらに、低消費電力・低発熱設計に加え、長寿命でメンテナンス性にも優れており、ランニングコスト（TCO）の削減にも貢献します。
ALE/2 UV-LED露光システムは、Primelite独自の光学・制御技術を最大限に活用し、4基のフィードバック制御型高出力UV-LEDの光を光学系で合成することで、高出力かつ高均一なUV照射を実現します。光源構成は、i線（CWL：365 nm）単波長仕様と、365 nm・405 nm・436 nmを組み合わせたブロードバンド仕様を用意しています。i線単波長仕様では、従来の5 kW高圧水銀ランプに匹敵する光出力を実現し、ブロードバンド仕様では、2 kW高圧水銀ランプに相当する照射性能を発揮します。
ALE/2 UV-LED露光システムの特徴:
- 最大限の露光効率と性能を実現する組み込みソリューション
- 最大70ワットのi線露光(CWL 365nm)
- 最大80ワットのブロードバンド露光(350〜450 nm)
- 光出力の安定性を実現するためのクローズドループ光制御出力
- 水銀不使用、安全で将来性のあるLED光源
- UV-LED技術により、長寿命と低トータルコスト（TCO）を実現
- ドイツ製ならではの高い品質と信頼性
ALE/2 UV-LED露光システム概要
Advanced Light Engine TWO（ALE/2）は、コンパクトな露光サブシステム（ESS：Exposure Subsystem）と、独立したコントロールサブシステム（CSS：Control Subsystem）で構成されています。CSSはESSの動作を監視・制御し、高精度で安定した光出力を実現します。また、高出力UV-LEDへの電力供給と温度管理を行い、システム全体の冷却を最適に維持することで、優れた光出力安定性と長期的な信頼性を実現します。
従来のランプハウスと同様に、ALE/2の露光サブシステム（ESS）は、露光装置に組み込まれる光源ユニットとして機能します。一方、コントロールサブシステム（CSS）はESSの近くに設置する必要がありますが、両者は十分な距離を確保して配置できるため、装置設計の自由度を大きく向上させます。
制御サブシステム(CSS)
コントロールサブシステム（CSS）は、制御機能、電源ユニット、冷却システムを4Uサイズの19インチラックマウント筐体に集約しています。外部機器との通信には、PLC、USB、Ethernetを標準インターフェースとして搭載しており、お客様のシステムに応じて柔軟に制御・統合することが可能です。
露光サブシステム(ESS)
ALE/2露光サブシステム（ESS）は、i線（CWL：365 nm）単波長仕様、またはi線・h線・g線（CWL：365／405／436 nm）を組み合わせたブロードバンド仕様から選択できます。 各高出力UV-LEDモジュールには専用のクローズドループフィードバック制御を搭載しており、システム全体の光出力を常に高い精度で安定化します。さらに、均一化光学系と非球面コンデンサーレンズの採用により、露光面全体にわたって優れた照射均一性を実現します。
すべてのLEDモジュールは現場で交換可能で、メンテナンスを最小限に抑えています。LEDの交換は数分で済み、特別な工具は不要です。
ALE/2 UV-LED露光システム 出力
標準仕様のALE/2は、水銀ランプのi線（365 nm）、h線（405 nm）、g線（436 nm）に対応するピーク波長を持つUV-LEDモジュールを組み合わせたブロードバンド構成を採用しています。また、i線（365 nm）のみを出力する単波長仕様もご用意しています。各UV-LEDモジュールは個別に制御できるため、フィルターを交換することなく照射波長を切り替えられるほか、用途に応じて出力波長の構成を柔軟にカスタマイズできます。
波長
角度分布(コンデンサー)
出力
| 出力[mW]1 | 広帯域(350〜450 nm) | i線(365 nm) |
|---|---|---|
| ALE/2(パフォーマンスモード) | 80,000 | 70,000 |
| ALE/2(標準モード) | 70,000 | 60,000 |
1±10%の誤差が生じる可能性があります
ALE/2は、標準モードで最大70 W、パフォーマンスモードでは最大80 Wの総光出力を実現します。パフォーマンスモードを使用する場合は、冷却回路に外部チラーを追加し、冷却液の温度を20℃以下に維持する必要があります。
システムの特性と仕様
| 標準搭載LED | 365nm、385nm、405nm、436nmの4つのLED | ||
| 開口数 | 標準コンデンサー光学系ではNA 0.3(2α ~35°) | ||
| 出力コントロール |
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| インターフェース |
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| 熱管理 |
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| 寸法(WHD) | ESS: | 21 × 21 × 36 cm | 8.3 × 8.3 × 14.2" |
| CSS (Rack): | 44 × 18 × 37 cm | 17.3 × 7.1 × 14.6" | |
| 重量 | ESS: | 4 kg | 9 lbs |
| CSS (Rack): | 10 kg | 22 lbs | |
| 電源 | 110〜240 VAC / 50〜60 Hz / 1,500 W | ||